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誠南工業株式会社は真空装置の設計製作を行っております。

〒559-0011 大阪市住之江区北加賀屋4丁目3番24号
TEL:06-6682-6788 FAX：06-6682-6750 E-mail：info@seinan-ind.co.jp
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熱CVD装置THERMAL CHEMICAL VAPOR DEPOSITION EQUIPMENT

熱CVD装置　SE-TCVD

熱CVD装置
●概要
・化学反応により膜を堆積する方法を利用したCVD装置です。
●装置構成  
・石英管用真空チャンバー
・石英管
・電気炉/制御電源
・真空計
・排気系
 ●仕様
　可変温度範囲：200℃～1000℃
　石英管サイズ：φ80～200
　　　供給電源：200V
　　到達真空度：1×10-5Pa以下
　バイアス電源：０～500V

●オプション
　質量分析計
　質量分析計用差動排気チャンバー

誠南工業株式会社

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